二氧化钌具有很宽的阻值和较高的稳定性，是电阻浆料导电相的重要原材料。我国从70年代初就开始二氧化钌制备的试验工作，现制备方法比较多，采用不同制备方法制备的二氧化钌粉，性能差别较大，价格差别也比较大。现比较成熟的工艺主要有直接煅烧法和水热法合成，直接煅烧法优点是设备简单，参与化学反应少，制作工艺简单，但制作的二氧化钌粉，颗粒度较大，颗粒形貌差别较大，比表面积小等。水热法合成二氧化钌粉，相比工艺复杂，参与化学反应多，但制作的二氧化钌粉具有颗粒小，微观形貌一致性好，比表面积大，阻值和TCR稳定等优点。水热法合成二氧化钌粉的工艺也比较多。